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乐玩街机:拓荆科技发布非晶碳薄膜堆积技能Flowable Carbon

来源:乐玩街机    发布时间:2026-10-16 13:05:14浏览次数: 1
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  发布非晶碳薄膜堆积技能Flowable Carbon,现在已使用于NF-300M Supra-H设备,该技能系列经过对前驱体的挑选和工艺条件的辅佐,稳定地完成了两种填充功能不同的可活动碳膜工艺,分别为Capi-Carbon和Sedi-Carbon。

  据介绍,已环绕上述两种可活动性碳膜堆积技能,与3D-NAND、DRAM以及逻辑芯片制作企业打开协作,处理在使用中的特别难题,拓宽碳膜技能的使用场景。